Canon: A nanoimprinting technológia várhatóan 2 nm -es félvezetőt gyárt
A japán Canon Corporation október 13-án bejelentette az FPA-1200NZ2C NanoImprint (NIL) félvezető gyártó berendezések bevezetését.A Canon vezérigazgatója, Fujio Mitarai kijelentette, hogy a vállalat új nano -nyomtatási technológiája előkészíti az utat a kis félvezető gyártók számára a fejlett chipek előállításához, és ez a technológia jelenleg szinte teljes egészében az ipar legnagyobb vállalatainak tulajdonában van.
A nanoimprinting technológia magyarázatakor az Iwamoto Kazunori, a Canon félvezető berendezés -üzletének vezetője kijelentette, hogy a nano -nyomtatási technológia magában foglalja egy maszkot félvezető áramköri diagramot az ostyára.Ha csak egy ostyára nyomtatnak, komplex kétdimenziós vagy háromdimenziós áramkörök képződhetnek a megfelelő helyzetben.Ha a maszk javul, még a 2NM áramköri vonalszélességű termékek is előállíthatók.Jelenleg a Canon NIL technológiája lehetővé teszi a minta minimális vonalszélességének, hogy megfeleljen az 5NM csomópont logikai félvezetőnek.
Úgy tűnik, hogy az 5NM chipgyártó berendezések iparában az ASML uralja, és a Canon nano -nyomtatási módszere elősegítheti a rés szűkítését.
A felszerelési költségek szempontjából az Iwamoto és a Takashi kijelentette, hogy az ügyfelek költségei a feltételektől függően változnak, és a becslések szerint az egy litográfiai folyamathoz szükséges költségek néha a hagyományos litográfiai berendezések felére csökkenthetők.A nanoimprintáló berendezések skálájának csökkentése megkönnyíti az olyan alkalmazások bevezetését, mint például a kutatás és a fejlesztés.A Canon vezérigazgatója, Fujio Mitarai kijelentette, hogy a vállalat nano -nyomtatási berendezéseinek ára egy számjegyű lesz, mint az ASML EUV (Extreme Ultraviolet) berendezése, de a végső árképzési döntést még nem hozták meg.
Úgy tűnik, hogy a Canon számos kérdést kapott a félvezető gyártóktól, egyetemektől és kutatóintézetektől az ügyfelekkel kapcsolatban.Az EUV berendezések alternatív termékeként a nano -nyomtatási berendezések nagyon vártak.Ez az eszköz felhasználható különféle félvezető alkalmazásokhoz, például a Flash memória, a személyi számítógép DRAM és a Logic számára.